歐姆龍MEMS流量傳感器D6F檢測原理有哪些方法?

2019-05-08

歐姆龍采用獨創的超細微加工技術，開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器D6F, 擁有引以為傲的世界最高級別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。可以測量空氣、天然氣以及LPG氣體等等，按測量類型來說主要分為三大類：1、測量空氣流速 2、測量氣體流量 3、測量空氣壓差。

三大特點：

1、高精度--通過 ASIC 的線性溫度補償，實現 ±3%RD（25 ～ 100% F.S.）；

2、高靈敏度--獨特的 MEMS 構造，對微風也能進行檢測；

3、體積小--采用世界最小等級的 MEMS 元件，實現產品的小型化。

其中，D6F-W/-V/-P等系列流量傳感器采用歐姆龍獨創的立體流路結構，防塵性出色，配備灰塵分離機構（旋風方式），減小了對傳感器芯片的影響，從而實現了高可靠性。更小型化的尺寸，可以安裝在任何位置，也適用多種用途。

歐姆龍MEMS流量傳感器檢測原理：在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱。流動的狀態下，加熱器上風向的溫度低，下風向溫度高，溫度分布不再對稱。將該溫差作為熱電堆的電動勢之差進行傳感，可測量流量、流速而不影響溫度、壓力。此外，熱電堆為熱電動勢方式，與電阻式相比，有助于降低功耗。

隨著國內天然氣市場的快速發展，清潔能源也越來越受到大眾的重視。可以預見的是，歐姆龍小型化、高性能MEMS流量傳感器，將會在智能燃氣表、燃料電池、燃氣鍋爐以及空氣能熱水器等應用領域擁有更多的機會。